नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) उच्च शुद्धता गैस
मूल जानकारी
| कैस | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
यह सामग्री क्या है?
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) कमरे के तापमान और वायुमंडलीय दबाव पर एक रंगहीन और गंधहीन गैस है। इसे मध्यम दबाव में द्रवीकृत किया जा सकता है। एनएफ3 सामान्य परिस्थितियों में स्थिर है और आसानी से विघटित नहीं होता है। हालाँकि, उच्च तापमान के संपर्क में आने पर या कुछ उत्प्रेरकों की उपस्थिति में यह विघटित हो सकता है। वायुमंडल में छोड़े जाने पर NF3 में उच्च ग्लोबल वार्मिंग क्षमता (GWP) होती है।
इस सामग्री का उपयोग कहां करें?
इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में सफाई एजेंट: अर्धचालक, प्लाज्मा डिस्प्ले पैनल (पीडीपी) और अन्य इलेक्ट्रॉनिक घटकों की सतहों से ऑक्साइड जैसे अवशिष्ट दूषित पदार्थों को हटाने के लिए एनएफ 3 का व्यापक रूप से सफाई एजेंट के रूप में उपयोग किया जाता है। यह इन सतहों को बिना नुकसान पहुंचाए प्रभावी ढंग से साफ कर सकता है।
अर्धचालक निर्माण में नक़्क़ाशी गैस: एनएफ3 का उपयोग अर्धचालकों की निर्माण प्रक्रिया में नक़्क़ाशी गैस के रूप में किया जाता है। यह विशेष रूप से सिलिकॉन डाइऑक्साइड (SiO2) और सिलिकॉन नाइट्राइड (Si3N4) को उकेरने में प्रभावी है, जो एकीकृत सर्किट के निर्माण में उपयोग की जाने वाली सामान्य सामग्री हैं।
उच्च शुद्धता वाले फ्लोरीन यौगिकों का उत्पादन: एनएफ3 विभिन्न फ्लोरीन युक्त यौगिकों के उत्पादन के लिए फ्लोरीन का एक मूल्यवान स्रोत है। इसका उपयोग फ़्लोरोपॉलिमर, फ़्लोरोकार्बन और विशेष रसायनों के उत्पादन में अग्रदूत के रूप में किया जाता है।
फ्लैट पैनल डिस्प्ले निर्माण में प्लाज्मा उत्पादन: लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले (एलसीडी) और पीडीपी जैसे फ्लैट पैनल डिस्प्ले के उत्पादन में प्लाज्मा बनाने के लिए एनएफ 3 का उपयोग अन्य गैसों के साथ किया जाता है। पैनल निर्माण के दौरान जमाव और नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं में प्लाज्मा आवश्यक है।
ध्यान दें कि इस सामग्री/उत्पाद के उपयोग के लिए विशिष्ट अनुप्रयोग और नियम देश, उद्योग और उद्देश्य के अनुसार भिन्न हो सकते हैं। किसी भी अनुप्रयोग में इस सामग्री/उत्पाद का उपयोग करने से पहले हमेशा सुरक्षा दिशानिर्देशों का पालन करें और किसी विशेषज्ञ से परामर्श लें।
